導語：如何才能寫好一篇智慧醫院一體化解決方案，這就需要搜集整理更多的資料和文獻，歡迎閱讀由公務員之家整理的十篇范文，供你借鑒。

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四川久遠銀海軟件股份有限公司（以下簡稱銀海）1992年起源于國家“兩彈一星”的搖籃之一――中國工程物理研究院，是中國工程物理研究院發展“民”事業在IT領域的重點支柱性企業。

銀海定位于行業領導型解決方案、自主知識產權應用軟件、軍民兩用通信產品及服務提供商，秉持“和諧、激情、夢想”文化精神，致力于為“民生及國防”行業客戶提供高品質應用軟件、產品和服務，“服務民生國防，引領行業創新”。

銀海經過20余年發展與創新，在民生（人社、醫療衛生、公積金、民政、大數據）和國防（軍工數字化、軍民兩用通信產品）領域形成了極具競爭力系列核心軟件產品，打造了創新型“全民社會保障”軟件平臺，打破了國防信息化技術的國際壟斷， 且市場份額在全國范圍內處于領先地位，是中國西部領先的行業應用軟件企業。

情系民生保障 服務社會和諧

在人社行業，銀海具有20年的行業信息化建設經驗，是“社保管理信息系統核心平臺”一、二、三版的主研單位，部頒標準制定參與者，核心參與“金保二期工程”立項需求分析，服務于“城鄉一體化社會保障體系”、“城鄉一體化就業體系”和“城鄉一體化人力資源體系”三大民生體系的構建。

銀海人社行業解決方案引領行業信息化，2005年實現人社一體化，數據共享、業務互聯互通，2008年實現人社流程優化、五通公共服務，2012年“智慧人社”，2013年推進“智慧人社”解決方案行業創新和實踐。

在醫療衛生行業，銀海積淀豐富，是醫療衛生行業創新解決方案提供商，參與衛生信息化標準制定，產品線和解決方案覆蓋區域衛生信息平臺、基層醫療衛生管理信息平臺、居民健康卡綜合管理平臺、數字化醫院信息平臺、醫保醫療控費監管平臺、食品藥品監督管理平臺等業務領域。公司遵循“民族品牌，科技創新”的價值觀，經歷二十余年的風雨，為全國醫療衛生行業近千家客戶提供醫療衛生信息化產品和服務，獲得了各級用戶的充分信任和肯定。

在推進醫療信息化方面，銀海經驗豐富，擁有20余年醫院信息化建設經驗，幫助1000余家醫院進行信息化改造。

在公積金行業，銀海住房公積金信息化建設解決方案成功應用于四川、甘肅、江西等省份，提供領先的一體化系統設計。該解決方案提供全業務領域“零距離”服務，以“組件式開發、流程化配置、標準化采集、內嵌式控制、科學化決策、開放式服務”的思想搭建一體化信息平臺，實現業務整合和資源共享，既凸顯了中心服務特色又能把握中心發展方向。解決方案具有以下特點：

1.領先的一體化系統設計，全業務領域“零距離”服務。通過業務一體化、管理服務一體化、業務賬務一體化、中心銀行業務協同一體化實現住房公積金“決策、管理、核算、協同”一體化目標。全方位立體化服務支持，實現領域“零距離”服務。

2.全業務覆蓋，涵蓋住房公積金經辦、服務、監管、決策等全業務領域。解決方案涵蓋中心各項工作的信息工作平臺，包括核心業務系統、綜合服務、風險防范、決策分析等二十幾個子系統。實現統一數據標準，統一操作平臺、統一的信息交換平臺的“三個統一”。

3.全方位接入，渠道豐富、安全便捷的人性化服務，提升效率和公眾滿意度。在“智慧公積金”解決方案框架下，通過對公積金服務資源和服務對象的相互感知和高效協同，形成集實體營業網點服務、網上服務、電話服務、移動終端服務、銀行網點服務五位一體的公積金綜合信息服務體系。該系統可以實現業務相關信息自動提取、支持多種操作方式、便捷的導入導出、輸入信息智能提示和格式轉換等，從多渠道、全方位讓居民體會到全新高效的人性化服務，提升用戶體驗。

4.全過程管控，科學全面的資金管控輔助，化解風險，提高運營效益。通過對五位一體的公積金綜合信息服務體系的實時監控和綜合智能分析，該系統為管理層提供了涵蓋全服務內容的統一業務全景視圖，對系統在業務發生全程對操作行為和操作結果進行了全方面的業務留痕，實現業務過程和業務結果的有證可循，在業務層面形成全面的可循證的操作風險防控機制。

5.智能化協同，內嵌式控制信息智能互通，推進銀行協作及部門聯動。利用流程引擎、信息推送等技術實現系統控制體系，該系統可以實現業務流動、資金流動、信息流動、檔案流動、服務流動的五流融合，通過實時聯機交易平臺，規范了中心和銀行的業務流程和業務規則，實現了與銀行的委托收款、付款等實時支付結算功能，確保中心資金劃撥的集中管理和控制，實現了業務辦理和資金結算的無縫銜接，推進銀行協作及部門聯動。

在民政方面，銀海堅持“高度整合，惠及全民，促社會和諧”的信息化理念，解決方案覆蓋民政的婚姻、低保、社區、優撫、老齡等領域，以領先的信息技術和理念，實現民有所管，困有所保，老有所養，災能及救，業務協同。

該系統服務基層社區，強化服務可及，可以實時反映困難情況，及時提供低保保障，支撐全民養老服務體系，信息促進養老效率。此外，該系統還可以在科學應急、及時救災方面提供有效保障，并且提供數據共享、業務協同服務。

建設數字化軍工 支撐信息化戰爭

作為系出名門的軍工數字化綜合服務提供商，銀海以中物院品牌優勢和自身信息化建設的經驗為依托，通過“研制數字化”驅動軍工創新能力，實現了“數字化研發”、“數字化制造”、“數字化協同 ”。

通過“管理信息化”提升軍工管控水平，銀海以軍工任務為目標、質量為要求、流程為主線、知識為支撐、資源為基礎，綜合利用技術、工具、手段與方法，使軍工管理者能夠全面管控軍工科研生產計劃、執行、監控與調整，達成決策指揮目標，有效提升管控水平。

此外，通過“安全自主化”鑄造軍工安全堡壘，銀海以信息安全自主可控為前提，全面融合物理安全、運行安全、信息安全和安全管理等核心安全技術與管理手段。這完全滿足信息系統的信息安全防護需求，鑄造全方位、高強度的信息安全堡壘，充分體現“進不來、拿不走、看不懂、毀不掉、逃不脫”的信息安全防御思想。

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申萬計算機指數漲跌幅在所有申萬一級行業中排名第二十八(28/28)。分版塊來看，上周各主題板塊指數不同程度下跌，電子商務指數、第三方支付指數、在線教育指數表現位居前列，人工智能指數、云計算指數、區塊鏈指數表現最差。上周計算機板塊有25家公司上漲，11家公司持平，158家公司下跌。其中漲幅比較大的公司有中新賽克(+23.38%)、科藍軟件(+12.73%)、絲路視覺(+12.7%)、中威電子(+6.96%)、正元智慧(+6.96%)。

本周行業觀點:上周，谷歌推出了一套全新的人工智能服務工具CloudAutoML。該工具能夠幫助開發者自動生成一個定制化的機器學習模型，即通過人工智能的方法來產生定制化的人工智能模型。目前AutoML還處在測試階段，僅支持計算機視覺模型，后續可能將服務拓展到語音、翻譯、視頻、自然語言處理等所有標準機器學習模型。對AutoML的計算機視覺模式而言，在使用時，開發者需要上傳帶有數據標簽的圖片，隨后谷歌的系統會自動生成定制的圖像識別模型。在整個過程中，開發者僅需要參與少量的如數據準備、調參、評價和迭代等工作。我們認為，目前雖然人工智能技術發展和應用落地速度較快，但對于大多數公司而言人工智能技術發展所需要的人才及資金仍然是瓶頸所在。谷歌、微軟、百度這樣的科技巨頭利用其在人才、技術、資金方面的優勢向外輸出人工智能技術，有利于降低人工智能技術門檻，有利于人工智能應用的進一步落地。而對這些科技巨頭而言，開發者調用其AI能力越頻繁，所積累的有價值數據也越多。但這種基于云端的定制化人工智能模型也存在一定缺陷，主要體現在數據隱私及安全、應用復雜程度不夠、模型的持續提升有困難等方面。從對產業的影響來看，AutoML工具的推出再次印證了未來AI能力的開放將成為大趨勢，業內AI企業在算法、技術層面的差距將會逐漸縮小，產業競爭優勢越來越集中于高質量數據、高層次人工智能人才、平臺及生態構建等方面。

重點推薦公司:(1)恒華科技:“十三五”期間電網建設投入依舊可觀，配電網側建設是重點，智能化投入比例也有望提升。公司也在積極推進電力信息化領域的SaaS服務，云平臺業務進展順利，2017年年中總用戶數達到54，520家，相比去年同期增長約50%。新一輪電改的核心是售電側市場的放開，公司可以為新興售電公司提供從業務培訓、投融資、配網建設到信息系統建設的售電側一體化服務，公司有望受益于電改的深入推進;(2)佳都科技:公司以智能軌道交通和智慧城市為核心業務，兩項業務上半年均取得了重要進展。在軌道交通領域，2017年3月公司在武漢成立分公司，標志著公司繼廣州之外又一個根據地的確立。在智慧城市領域，公司積極推動人工智能技術、大數據技術和以視頻監控為基礎的社會治安防控體系的結合，以形成特色產品、增強行業競爭力。

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>> MEMS遇見傳感器，改變生活就此開始 MEMS傳感器傳遞智能生活新理念 CMOS傳感器時代的開始？ 日常生活中的傳感器 用于油井井下環境的MEMS應變傳感器 MEMS傳感器ADIS16209原理與應用 基于ADI MEMS傳感器解決方案展示 MEMS、MCU和傳感器融合的平衡 MEMS傳感器及其在航空領域的應用 基于MEMS傳感器的電子羅盤設計 汽車傳感器MEMS的研究與展望 日本北陸電工擴大MEMS傳感器事業 基于MEMS海洋湍流傳感器實驗研究 MEMS傳感器發展現狀與應用 MEMS傳感器市場面臨空前機遇 利用MEMS慣性傳感器改善控制 加速創新步伐的MEMS傳感器 MEMS傳感器整合解決方案 MEMS傳感器:從啞設備到系統平臺 3D MEMS傳感器深入應用市場 常見問題解答 當前所在位置：

關鍵詞：MEMS；傳感器；智能設備

DOI： 10.3969/j.issn.1005-5517.2013.10.001

廣義上說，傳感器是一種能把物理量或化學量轉變成便于利用的電信號的器件。傳感器接收信號或刺激并反應，并將待測物理量或化學量轉換成另一對應輸出，主要用于自動化控制、安防設備等。市場對傳感器的需求隨著應用的不同其需求重點不同，如工業過程控制還是集中在溫度、壓力、流量及圖像系統方面。一般消費產品像手機里面的輕觸式感應系統、陀螺儀，圖像等器件。而在汽車工業里，除了傳統的溫度、壓力、速度、及流量等傳統信號感應系統外，越來越多的圖像和雷達系統被應用到了汽車的安全系統應用中。這些新興的應用都將具有廣闊的市場前景。

作為一種精細化機械工藝，MEMS（微機電系統）技術深受運動、加速度、傾斜以及振動等傳感器應用的歡迎。今天的MEMS傳感器是系統級封裝解決方案，與傳統的傳感器技術相比，MEMS體積小、重量輕、成本低、能耗低、可靠性高、易于批量生產、智能化高。而借助MEMS技術帶給傳感器的這些優勢，又為傳感器打開了更多全新應用之門。

村田制作所MEMS傳感器產品技術部經理Fang Tuurnala介紹，MEMS傳感器的高性能和可靠性、對時間和溫度變化有極小的偏差即穩定性好等特性不會局限于目前的應用。在工業領域，MEMS傳感器的運用主要會在地震預測，橋梁倒塌等事故的預測中。例如鐵塔底下放置傳感器后，即可得知在某個支撐點范圍下鐵塔是安全的，超過這個范圍就會產生安全隱患。在國外的橋梁上已經有了使用傳感器的案例。另外一個工業的應用就是在煤礦。運用在煤礦地下支撐腳的控制，減小塌方的可能性。農業方面，在耕地面積減少的情況下農業機械化和高產量的需求也使得農業開始需要高尖端的技術。未來的農業也會是個不同的景象，例如在插秧的設備上搭載MEMS傳感器，它可以做到同角度高準確的種植，在同樣的投入下收獲更高的產量。MEMS傳感器在中國有10年多的發展，但是推廣不夠立體，市場需求并不明顯等原因實際實際應用還不多。因此，在國內推廣此產品會需要比較長的周期，展望未來，MEMS傳感器在汽車電子等領域對高尖端傳感器的需求會不斷增加。

消費級應用

在消費產品中，現在不論是走路還是打電話，都會用到不同程度的傳感器。除了市場比較成熟的常用傳感器之外，高精度傳感器產品的日后需求將會越來越多。

MEMS加速傳感器和陀螺儀讓設備廠商研制出各種高性價比的運動控制型設備，并取得市場成功。這些傳感器能夠給手機、MP3/MP4播放器、PDA、平板電腦或游戲機控制器增加智能人機界面，把用戶的手腕、胳膊和手的運動與應用程序、頁面內以及頁面之間的瀏覽、游戲機中的人物動作等設備功能聯系起來，實現真正意義的人機互動。

便攜設備中的數據保護是MEMS傳感器的另一種應用。當出現自由墜落或者其它異常運動時，MEMS加速計將立即通知系統終止全部的硬盤驅動器（HDD）讀寫操作，并將磁頭固定到安全位置。意法半導體的加速計還經常集成在洗衣機或烘干機等家電設備中，充當振動檢測器，用于穩定失衡的負荷，防止機器出現過量的磨損而發生故障。

MEMS陀螺儀，也稱角運動傳感器，可以輔助加速計，使游戲機和遙控器的人機界面變得更加炫酷。這些陀螺儀還能消除晃動對數字攝像機或數碼相機畫質的影響，提高圖像或相片的清晰度，并可使汽車導航增加航位推算和地圖匹配功能。由于GPS衛星信號無法覆蓋每一個角落，例如，在建筑物內或高樓林立的城區通常沒有衛星信號，在這種情況下，航位推算系統通過監測運動、行程和海拔，修正數字羅盤讀數，繼續為用戶提供準確的導航信息。

MEMS磁傳感器測量地球磁場的強度和/或方向，因而能夠確定以北極為參考軸的前進方向，增強便攜消費電子產品的電子羅盤功能，包括方位定向、地圖/顯示屏定向、定位關聯服務和航位推測。在一個9自由度（DoF） 多傳感器模塊內，磁傳感器可補充加速度計和陀螺儀的功能。

壓力傳感器可滿足應用對全量程和高分辨率的要求：應用實例包括手持設備的氣壓計功能和硬盤驅動器的“飛行高度”控制功能。隨著硬盤驅動器小型化趨勢和存儲容量不斷提高，磁頭與盤面之間的距離極易受到氣壓變化的負面影響。

微加工聲學器件，也稱MEMS話筒，可提高現有的和新興應用設備的音質、可靠性和成本效益，目標應用包括手機、筆記本電腦、錄像機、數碼相機以及助聽器或電子聽診器。將多個MEMS話筒組合成陣列可實現更多功能，如噪聲抑制和方向拾音。這在噪聲很大和無法控制的環境內，對于提高聲音清晰度很有幫助，可以有效提高移動會話和會議的音質。

對于智能手機和移動設備，主要使用的MEMS器件有加速度計，陀螺儀，磁力計，氣壓計，以及MEMS麥克風，主要應用于運動/墜落檢測、導航數據補償、游戲/人機界面、電源管理、GPS增強/盲區消除、速度/距離計數、高清音頻采集、其他體育和保健應用等等。這些MEMS技術都在很大程度上提高了用戶體驗，并帶來了全新的電子消費產品。其中加速度計是該市場中第一大應用產品。而陀螺儀增長迅速，已經成為繼加速度計后的第二大應用產品。

ADI微機械產品線高級應用工程師趙延輝介紹，高信噪比的MEMS麥克風能夠有效提升錄音、視頻通話的質量，滿足消費者對清晰通話的音質需求；新型MEMS氣壓計會帶來室內導航應用的普及；而物聯網和家庭醫療會是繼汽車和消費類應用領域后，又一個殺手級的應用。其潛在的市場和增長趨勢會像今天的智能手機一樣。但目前該市場還缺乏統一的標準和客戶的認知度，預計還需要2年左右的時間才會起量。

英飛凌科技中國區MEMS麥克風高級經理潘哲源詳細介紹了MEMS麥克風因為輕薄和穩定性好的優勢，在智能手機、數碼攝像機和平板電腦等產品中應用有自己的優勢，特別是因為其一致性可以做到非常好，所以在消噪和消回音系統的應用中具有傳統麥克風無法比擬的優勢，從而能夠帶來非常好的效果體驗。未來智能手機中將會逐漸采用2-3個MEMS麥克風，這就提供了廣闊的市場機遇，另一個龐大的市場機遇則來自于助聽器市場。從技術上，準確度是MEMS麥克風最大的技術挑戰，而確保一致性和靈敏度高則是必備的技術需求，在大音量情況下不能破音也是必須的技術條件。

智能傳感器可實現更安全、健康、舒適的生活，村田制作所有智能化傳感器概念及相應產品。例如，在養老院、醫院等場所，通過在設備上搭載傳感器采集相應信息之后通過 WIFI等通訊模塊將信息傳送到服務臺，就可以在任何時間任何地點了解到信息。還有，現在社會上獨居老人越來越多，怎樣服務獨居老人已經成為社會關注的話題。智能傳感器概念可以免去他們去醫院的煩惱，日常在家里監測，之后將這些信息傳輸到醫院的信息庫，就進行數據分析進而做到早期預測。村田在這一領域非常看重同時也有很大的投入。

MEMS傳感器的高性能和可靠性、對時間和溫度變化有極小的偏差即穩定性好等特性不會局限于目前的應用。在工業領域，MEMS傳感器的運用主要會在地震預測，橋梁倒塌等事故的預測中。例如鐵塔底下放置傳感器后，即可得知在某個支撐點范圍下鐵塔是安全的，超過這個范圍就會產生安全隱患。在國外的橋梁上已經有了使用傳感器的案例。另外一個工業的應用就是在煤礦。運用在煤礦地下支撐腳的控制，減小塌方的可能性。農業方面，在耕地面積減少的情況下農業機械化和高產量的需求也使得農業開始需要高尖端的技術。未來的農業也會是個不同的景象，例如在插秧的設備上搭載MEMS傳感器，它可以做到同角度高準確的種植，在同樣的投入下收獲更高的產量。

汽車級應用

傳感器產品從傳統的機械式、到電子、再到當前MEMS技術架構，從技術上講傳感器的精度、可靠性和性能都將有大幅度提升。但從應用來講，不同的應用環境，對傳感器產品的性能和技術要求是不一樣的，比如汽車應用，產品要經過AEC-Q100的質量體系驗證，測試通過了才可以用在汽車應用里。

汽車電子是MEMS傳感器一個非常重要的應用方向，每臺汽車會有40到上百個傳感器，而汽車智慧化的發展趨勢也將促進汽車市場對傳感器的需求。其應用方向和市場需求包括車輛的防抱死系統（ABS）、電子車身穩定程序（ESP）、電控懸掛（ECS）、電動手剎（EPB）、斜坡起動輔助（HAS）、胎壓監控（EPMS）、引擎防抖、車輛傾角計量和車內心跳檢測等等。其中電子車身穩定程序ESP得到眾MEMS廠商的高度關注。由于其主動防滑功能要求更多的傳感器和先進的處理系統，因此將帶動汽車電子MEMS傳統應用市場的需求。

在主動安全領域，側翻與穩定性控制（ESC）是對當今主流安全系統的全新改進。需要MEMS加速度傳感器和角速度傳感器來感測車身姿態。同時，由于這樣的傳感器往往安裝在振動比較惡劣的位置，所以需要傳感器具有很高的振動沖擊抵御性。這是對MEMS傳感器的一個挑戰。已經發生的趨勢是，TPMS和ESC系統的裝車率在快速上升，同時標配ESC系統的車型也在不斷增多。由此帶來的電子系統數量和規模在不斷擴充，尤其需要更多的MEMS傳感器來感測碰撞的不同部位以及車身姿態。同時，多種傳感器的融合，來降低系統復雜度和系統成本，也是另一個趨勢。

英飛凌對MEMS傳感器在未來汽車電子中的應用前景充滿期待，其前景也非常廣闊。根據IHS的報告，2012年全球車用MEMS傳感器市場為24億美元，而中國為3億美元，占13%。到2017年，全球市場將增長33%，達到32億美元，而中國市場會翻番，占全球市場的份額提高到19%。英飛凌的MEMS技術在磁性傳感器、壓力傳感器、無線傳感器及圖像傳感器在電子消費品、工業和汽車工業均有廣泛的應用。英飛凌在側安全氣囊壓力傳感器和TPMS傳感器領域處于全球領先的位置，同時在大氣壓力傳感器和進氣歧管壓力傳感器等領域也是全球主要的供應商。隨著中國市場對汽車安全的重視，TPMS傳感器的應用將會有一個顯著的增長。英飛凌占據了全球市場的絕大多數份額。

MEMS傳感器技術的發展方向

集成化與智能化趨勢，需要MEMS與IC的集成制造技術及多參量MEMS傳感器的集成制造技術得到發展，以及在集成化基礎上使得信號檢測具有一定的自動化。技術發展的主要趨勢為：強調MEMS的系統性和傳感器、處理與識別的協調發展，突破傳感器同信息處理與識別技術與系統的研究、開發、生產、應用和改進分離的體制，按照信息論與系統論，應用工程的方法，同計算機技術和通訊技術協同發展。

除了繼續在汽車電子、新型數字消費電子和醫療電子等領域獲得快速發展，智能傳感器將廣泛應用于多個領域，如信息、航空航天、醫學、生物學等方面，給人類發展帶來深遠影響。傳感器與微控制器的結合，配合無線網絡技術，則為傳感器插上了智能的翅膀，感知中國就是智能傳感器最典型的應用。低功耗而性能出色的微控制器加上高性能高集成低功耗的MEMS傳感器，這是傳感器技術未來發展的重要趨勢，最新的蘋果iPhone 5S里的協處理器其實就是這樣的一種類似應用。

ADI微機械產品線高級應用工程師趙延輝給出了MEMS技術在未來的發展趨勢，主要表現在以下幾個方面：第一，微型化的同時降低功耗。將會出現微米甚至納米級別的微型器件，同時降低功耗；第二，微型化的同時提高精度，將MEMS加速度計做到石英加速度計的噪聲特性，保證MEMS陀螺儀小體積的同時獲得光纖陀螺儀的零偏穩定性；第三，集成化及智慧化趨勢，即MEMS與IC的集成制造技術及多參量MEMS傳感器的集成制造技術得到發展，以及在集成化基礎上使得信號檢測具有一定的智慧。這些趨勢要求半導體廠商提供更高精度、穩定性更好、更智能的高集成度MEMS傳感器模塊。

2 0 1 3年MEMS傳感器市場的需求依然十分旺盛，這既有傳統汽車和消費類市場的需求，也有新興的工業、醫療、通信、測井、軍工類的需求。室內導航應用會是促進新型MEMS氣壓計在2013起量的一個驅動因素；而隨著人們對錄音、視頻通話等的質量要求越來越高，高信噪比的MEMS麥克風會用在越來越多的手機或平板電腦中，甚至是對麥克風要求極高的助聽器中，隨著高溫MEMS器件通過越來越多的客戶驗證，在測井等極端工作領域，也會看到越來越多的MEMS產品，比如用于傾角和振動監測的加速度計，用于轉速檢測的陀螺儀等。而物聯網和家庭醫療會是繼汽車和消費類應用領域后，又一個殺手級的應用，其潛在的市場和增長趨勢會像今天的智能手機一樣。但目前該市場還缺乏統一的標準和客戶的認知度，預計還需要2年左右的時間才會起量。

意法半導體大中華暨南亞區微電機系統&傳感器高級市場部經理吳衛東介紹，位于MEMS技術發展最前沿的意法半導體已經開始在一個封裝內整合多個傳感器：加速計、陀螺儀、地磁計、壓力傳感器，這個多路傳感器一體化解決方案可大幅提升各種應用設備的功能性和性能。iNEMO是這種發展趨勢的一個典型實例。在這些多傳感器產品內，集成傳感器可實現自主和自動系統，監測特定的條件，并根據監測結果執行相應的操作，用戶無需干預或只需稍加介入。此外，‘智能傳感器’整合MEMS器件和處理功能，無需主處理器介入，獨立運行傳感器算法，從而能夠降低系統級功耗，這對耗電量極大的手持設備非常重要。

ST具有重大突破意義的Lab-onChip芯片同樣也利用了硅的電氣特性和熱特性，這個解決方案用成本低廉的一次性便攜工具取代了成本昂貴、耗時的固定地點實驗室分析過程。意法半導體的In-Check產品平臺是業內首款通過精確控制熱量來擴增DNA并進行微矩陣檢測的基因芯片。因為硅的熱特性非常出色，準許在同一芯片上實現電子溫度控制，所以Lab-onChip芯片能夠對DNA樣本進行精確的加熱和冷卻處理，DNA分析結果的精確度可與價值數萬美元的實驗室媲美。與傳統的診斷系統相比，MEMS因為外形小，耗電量少，只需很少的試劑，所以更能節省成本。

意法半導體還在醫療保健領域成功地應用微射流MEMS技術，例如，可以安裝在一次性敷貼內的微型胰島素注射泵。意法半導體與Debiotech公司合作開發的胰島素注射泵能夠精確模擬胰腺分泌過程，向人體持續輸注胰島素，同時還能檢測注射泵可能存在的故障，為病患提供深一層的保護。基于MEMS的Jewel Pump采用大規模半導體制造技術，成本比現有的解決方案更容易讓病患接受，同時，其可靠性和精確度是其它解決方案無法比擬的。

意法半導體的MEMS壓力傳感器還是另一項創新應用的核心技術：能夠24小時檢測和觀察眼壓變化的智能隱形眼鏡。作為意法半導體與Sensimed的合作開發成果，這個獨一無二的輔助診斷工具有助于專家提前發現青光眼，通過同步治療方法與病患的內部生物鐘能夠使治療效果最大化。

工藝技術挑戰

MEMS產品從開發設計到批量生產，對制造和工藝提出了很高的要求，這包括光刻、外延、薄膜淀積、氧化、擴散、注入、濺射、蒸鍍、刻蝕、劃片和封裝等。最大的挑戰是如何保證量產中的良品率。雜質粘滯、氧化物殘留、殘余應力等影響，都會造成機械傳感器失效。ADI微機械產品線高級應用工程師趙延輝介紹，ADI已通過改進機械結構和制造流程，保證了產品的良品率，并在這個過程中積累了大量的設計經驗。對于體積更小，功耗更低、噪聲更小、封裝更小、溫漂更小，供電電壓更低的器件，ADI還在持續改進制造和工藝，以滿足這些需求。特別的，與單純的ASIC器件相比，MEMS傳感器對工藝和架構有更高的要求，因其內部至少包含兩個die，一個機械傳感器的die，一個ASIC的die，晶圓的大小，多晶硅的厚度，對機械傳感器的壓力控制，die與die之間的位置關系等，都對器件的整體性能有影響。而隨著ADI對每一個細節的關注和改善，會持續改進MEMS傳感器的精度，進而會使得MEMS傳感器在高精度傾角測量、工業機械振動檢測、地震監測、高精度慣導中獲得廣泛的應用。

吳衛東則介紹，在前工序制造技術和工藝方面，意法半導體發現并解決了在各種應用領域大規模推廣高效益的MEMS器件的關鍵問題。為了加快產品上市時間，實現規模經濟效益，核心技術的標準化是極其重要的。作為MEMS技術標準化工作的領導者，意法半導體開發出了微致動器和加速計芯片厚外延層（ThELMA）工藝，這個0.8微米表面微加工技術可整合薄厚不一的多晶硅層，用于實現MEMS器件的結構和互連線。意法半導體采用加速計和陀螺儀的微加工技術，在一顆芯片內集成線性機械單元和角速機械單元，為客戶帶來巨大的成本效益和更小的產品尺寸。 意法半導體的VENSENS工藝（VENice process for SENSors）結合ThELMA工藝，可以在一個單晶硅芯片內整合一個空腔，制造一個尺寸和性能優異的壓力傳感器，使芯片變得更薄、更小，熱穩定性和可靠性更高。

應用技術挑戰

對于消費類應用來說，傳感器融合的主要技術難度是如何控制產品的尺寸，如何合理測試每個傳感器的性能，如何控制整個芯片的良品率并降低成本。對于工業、軍工、汽車、醫療等領域的傳感器融合來說，除了上面所列的各點外，還要考慮如何保證在各種工作情況下的精度、可靠性，如何利用融合的特性來實現傳感器之間的補償校正等，比如ADI的IMU系列產品在融合傳感器的同時，利用其內置的處理器、溫度傳感器等對融合的傳感器系統做了正交校正、溫補校正等，并利用加速度計的測量值來補償陀螺儀在受到加速度影響時的輸出，這樣就使傳感器的融合實現了1 + 1 > 2。目前來看，消費類產品還是對組合傳感器需求量最大的市場，尤其是智能手機和平板電腦，集成3軸加速度計和3軸陀螺儀，3軸加速度計和3軸磁力計，3軸加速度計、3軸陀螺儀和3軸磁力計的產品在短期內會有較大的市場，未來氣壓計也會被集成進來。