微細(xì)加工技術(shù)雜志介紹

《微細(xì)加工技術(shù)》創(chuàng)刊于1983年，是國家科委和國家新聞出版署批準(zhǔn)，國內(nèi)外公開發(fā)行的中央級(jí)重要科技期刊。主要反映半導(dǎo)體集成電路制造業(yè)的新工藝和新設(shè)備，是該領(lǐng)域科研工作者和工作報(bào)告的園地，為科研人員和我國信息產(chǎn)業(yè)化、現(xiàn)代化服務(wù)。是國家一級(jí)檢索刊物，已連續(xù)9年被美國工程信息公司Ei數(shù)據(jù)庫收錄，是《中國期刊網(wǎng)》、《中國學(xué)術(shù)期刊（光盤版）》、《中國學(xué)術(shù)期刊綜合評(píng)價(jià)數(shù)據(jù)庫》全文收錄用刊，是《中國科學(xué)引文數(shù)據(jù)庫》來源期刊。

主要欄目：綜述、電子束技術(shù)、離子束技術(shù)、光子束技術(shù)、薄膜技術(shù)、微機(jī)械加工技術(shù)、納米技術(shù)等。

本刊主要資助項(xiàng)目有：國家自然科學(xué)基金、國家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃、國家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃、國家教育部博士點(diǎn)基金、國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金、山東省自然科學(xué)基金、中國科學(xué)院知識(shí)創(chuàng)新工程、中國博士后科學(xué)基金、上海市自然科學(xué)基金、中國科學(xué)院知識(shí)創(chuàng)新工程重要方向項(xiàng)目。

本刊主要資助課題有：國家自然科學(xué)基金(90307003)、山東省自然科學(xué)基金(Y2003G03)、國家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃(2003CB716204)、國家自然科學(xué)基金(59671051)、山東省科技攻關(guān)計(jì)劃(022090105)、國家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(2004AA404260)、國家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(2003AA404150)、國家自然科學(xué)基金(10572078)、國家自然科學(xué)基金(50275140)、國家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(2003AA404140)。

微細(xì)加工技術(shù)雜志征稿要求

1.來稿一律文責(zé)自負(fù)。依照《著作權(quán)法》有關(guān)規(guī)定，本刊可對(duì)來稿做文字修改、刪節(jié)，凡有涉及稿件原意的修改，則提請(qǐng)作者考慮。

2.中文標(biāo)題一般不超過20字，正文層次標(biāo)題應(yīng)簡短明確，可不編號(hào)；如需編號(hào)，各層次一律用大寫數(shù)字連續(xù)編號(hào)，依次為：一、（一）、1、（1）等。

3.作者簡介列于文末的六角括號(hào)（“〔〕”）內(nèi)，其內(nèi)容包括，作者姓名、工作單位、職務(wù)與職稱、學(xué)歷或?qū)W位、主要學(xué)術(shù)兼職，主要研究領(lǐng)域等。

4.正文所引文獻(xiàn)須在正文末尾列出。中文參考文獻(xiàn)在先，外文在后。中文按作者姓氏的漢語拼音字母順序排列，外文按作者姓氏的字母順序排列。每條文獻(xiàn)必須頂格書寫或打印，換行時(shí)前面空兩格。

5.注釋的方式，序號(hào)用①、②、③、④……的形式，注釋格式為，著者：文獻(xiàn)名，出版社名（或雜志名），出版年（或雜志期次），頁碼。

6.論文摘要盡量寫成報(bào)道性文摘，包括目的、方法、結(jié)果、結(jié)論4方面內(nèi)容(200字左右)，應(yīng)具有獨(dú)立性與自含性。

7.正文應(yīng)層次清楚，方便閱讀，行文符合規(guī)范。正文中的各級(jí)標(biāo)題分別為：“1”、“1.1”、“1.1.1”等。

8.公式中的外文字母的大小寫、正斜體、上下角標(biāo)、數(shù)學(xué)符號(hào)、數(shù)字、公差值、絕對(duì)值和其他符號(hào)使用正確，書寫清楚。

9.來稿所關(guān)涉的立項(xiàng)課題及需要志謝的有關(guān)人員，應(yīng)以題注的形式標(biāo)在正文首頁下方。涉及的課題須注明課題名稱和項(xiàng)目編號(hào)。

10.姓名在文題下按序排列，多作者稿署名時(shí)須征得其他作者同意，排序應(yīng)在投稿時(shí)確定。接錄用通知后不再改動(dòng)。獲得各項(xiàng)課題資助的來稿將優(yōu)先發(fā)表（需要在稿件首頁注明）。