【關鍵詞】肺泡蛋白沉積癥

肺泡蛋白沉積癥（PAP）是一種以肺泡內大量沉積磷脂蛋白樣物為特點的肺部彌漫性疾病，是一種病因與發病機制尚未明確的罕見慢性肺部疾病［1］。現將經病理學確診的13例PAP患者的臨床資料作回顧性分析，報告如下。

1臨床資料

1.1一般資料

本組13例，均為北京協和醫院呼吸內科住院病例。其中男9例，女4例，年齡35～65歲(平均52.2歲)，發病（發現）至確診時間1.5～48個月，平均13.2個月。首發癥狀：干咳活動后胸悶、氣短最多見11例，無癥狀于體檢發現“兩肺彌漫性陰影”2例。粉塵等長期接觸史：7例有長期吸煙史（6男1女），石棉1例（11年），滑石粉、金屬粉塵2例（分別8年和11年）。體征：發鉗7例，杵狀指5例。肺部聽診：爆裂音9例。

1.2診斷方法

1前言

隨著全球能源的日趨緊張，太陽能電池以無污染、無機械轉動部件，維護簡便、無人值守、建設周期短、規模大小隨意，可以方便地與建筑物相結合，市場空間大等獨有的優勢而受到世界各國的廣泛重視，國際上已有眾多大公司投入到太陽能電池的研發和生產中。當前，硅太陽能電池的制造面臨的挑戰是提高太陽能電池的效率以增加單位面積的發電量以及進一步降低制造成本，使其能夠廣泛應用。在晶體硅太陽能電池中，硅片上電極列陣的制備是非常關鍵的技術，電極陣列是收集太陽能電池發出電流的必要部件，其性能的好壞直接影響電池的能量轉換效率。作為電鍍技術的一個分支，光誘導沉積技術成為可以代替傳統絲網印刷技術，能夠提高太陽能轉換效率的新興金屬化技術。在制造業迅速發展的時代，光誘導沉積技術的加工生產并逐步商業化，吸引了太陽能儀器制造公司的注意。傳統電鍍已經取得優異的成績，例如在良好的金屬底層上，通過恒電位或者恒電流都可以得到優良的金屬導線。但是，如何在太陽能電池的硅表面上得到優異的沉積層，卻沒有得到很好地解決。光誘導沉積技術能夠解決傳統電鍍無法解決的部分問題。作為電沉積的一個分支，光誘導沉積的發展將進一步促進光伏和微電子制造工業的飛速發展。為了系統整理和集中反映光誘導沉積技術及其應用研究的學術進展和科技成就，增進交叉學科領域之間的學術交流，加強科學技術研究與經濟建設的聯系，促進科技成果的轉化，筆者撰寫了本文。目的是為了幫助電鍍工作者了解新技術的機理以及發展方向。有關光誘導沉積技術的研究在國外已經開展很多，而國內才剛剛起步。而且到目前為止，并沒有關于光誘導沉積研究現狀及水平的系統總結。該文將對這方面進行綜述。

2光誘導沉積分類及其原理

光誘導沉積按反應類型可分為兩大類：光誘導分解型和光生電子型。

2.1光誘導分解型

根據Grotthuss–Draper定律，只有吸收輻射(以光子的形式)的分子才會進行光化學轉化。但是光誘導分解型沉積可以細分為兩類：第一類稱為直接光解，是化合物本身直接吸收了太陽能而進行分解反應，即利用一些對光敏感的化合物，使其在光的照射區域分解出金屬單質并且沉積出來；第二類為光轉化為熱，利用一些對熱敏感的化合物，采用激光加熱使這類化合物在基體表面分解產生金屬，從而形成沉積層。

摘要：在工程教育專業認證背景下，傳統地學實驗教學不能較好滿足學生需求。為了培養地質行業更多的具有國際視野的創新型人才，長江大學地球科學學院在沉積巖石學實驗教學中采取了一系列改革，包括更新教學實踐體系，引進新型的多媒體無線互動教學系統，構建網絡課堂，拓展教學實踐方式等，有效提升了學生的綜合素質。

關鍵詞：工程教育認證；沉積巖石學；實驗教學；多媒體無線互動教學系統

工程質量教育以學生的畢業要求為出發點，動態跟蹤改進教學內容、方式方法，以學生基本素質和專業能力培養為核心[1]。長江大學資源勘查工程專業2016年通過教育部“國際工程教育認證”，2019年入選第一批國家一流本科專業建設點，在工程教育認證和“雙一流”建設的背景下，面向高等地質教育的國際化發展新趨勢，社會對地質專業人才綜合素質提出了更高要求[2]。《沉積巖石學》是該專業本科教育的一門核心課程。該課程于2008年被批準為國家級精品課程，2016年獲批國家級精品資源共享課。根據學校辦學定位及油氣勘探的專業特色和優勢，《沉積巖石學》課程的教學目標為培養地學基礎扎實、綜合素質高、社會責任感強，具有國際視野和創新精神，從事油氣資源勘探相關的高級工程技術及科研人才[3]。為達到這一目標，《沉積巖石學》課程組不斷進行教學內容、授課方式、教育方法等課程建設和教學模式改革創新[3-5]。實踐教學是本課程重要的教學改革部分。本文主要介紹課程組近年來基于新型多媒體無線互動教學系統在實驗教學中的實踐經驗。

一、《沉積巖石學》實驗教學框架設計更新

《沉積巖石學》實驗要求學生在掌握沉積巖課堂基本理論知識的基礎上，能夠學會并熟練使用偏光顯微鏡，并借用肉眼、小刀、放大鏡等其他鑒定工具，對常見碎屑巖和碳酸鹽巖進行系統鑒定，掌握沉積巖的研究、觀察和描述方法，沉積巖的分類和命名原則，掌握沉積相的相標志及各種沉積相類型的主要特征[1，4]。沉積巖薄片鑒定是一項綜合性很強的基本技能，此前需要進行多門地學類基礎課程的學習，所涉課程包括普通地質學、晶體光學、巖漿巖與變質巖、古生物地史學等，這些基礎課程學習質量的好壞直接影響到沉積巖薄片鑒定教學的進行和效果[6]，因此在課程設置上，我院將以上課程設為《沉積巖石學》的前置課程。針對本校的資源勘查工程專業，共設有24學時，12次課堂實驗課（表1），除實驗1外，其余實驗均需在偏光顯微鏡下觀察沉積巖薄片。在重新修訂實驗教學大綱時，精簡了驗證性實驗項目的數量，增加了綜合性實驗占比。在驗證性實驗項目中設置了實驗1、2和7三次實驗內容；其他9次實驗內容均為綜合性實驗。而其他專業的實驗內容只有8次，內容不包括實驗2、8、10、12四次實驗。而綜合性實驗12是結合生產和科研單位的實際情況，檢驗學生應用于油氣資源勘探與開發中復雜地質體的綜合分析能力。

二、多媒體無線互動教學系統應用及效果

摘要：松遼盆地北部三肇凹陷扶余油層因斷裂較發育且河道砂體分布規律不明，具有資源探明度低、資源評價力度小、鉆探成功率低等特點。因此，為分析該油層沉積特征，基于斷層、斷裂帶縫隙對三肇凹陷扶余油層的控制作用，結合測井相與平面相、單井相、巖芯相的分析，闡述了三肇凹陷扶余油層油氣運聚及沉積特征。

關鍵詞：松遼盆地；三肇凹陷；油層沉積

松遼盆地北部三肇凹陷扶余油層是我國最為重要的油氣生產基地。經過了多年的勘探開發，松遼盆地油層已經進入油氣田勘探與開發的中后期，面臨著資源接替不足、油藏與開采失衡的嚴峻局面。而區域三肇凹陷扶余油層具有較大的勘探潛力，成為精細勘探與石油儲量提交的主戰場。基于此，分析盆地北部三肇凹陷扶余油層的沉積特征就具有非常突出的現實意義。

1松遼盆地北部三肇凹陷扶余油層的斷層發育特征

松遼盆地北部三肇凹陷扶余油層包括Ⅰ類斷層、Ⅱ類斷層、Ⅲ類斷層三種類型，Ⅰ類斷層為長期活動基底深大斷裂、大垂向延伸斷層，負責斷開青山口底面（均斷距約32.9m）、斷入基底（均斷距約215.8m）、嫩江組底面（均斷距約24.2m）、泉頭組底面（均斷距約41.9m），總體呈現出從上到下斷距逐漸增加的特征；Ⅱ類斷層為斷開泉頭組－青山口組（82.9%）、局部斷開到嫩江組正斷層（16.9%），其中斷開青山口組底面的均斷距與斷開泉頭組底面的均斷距分別在22.9m、29.9m左右斷開嫩江組正斷層的均斷距則在32.6m左右，總體呈現出從上層到下層逐漸增加的特點；Ⅲ類斷層為斷開單一解釋層位的斷層，負責斷開嫩江組底面、青山口底面、泉頭組底面的均斷距分別在16.9m、28.2m左右，主要在青山口期發育[1]。由于SEE-SSW拉張應力場在斷裂期干擾，盆地北部形成了近似SN向－SSW向的基底斷裂、斷線期斷裂，進入凹陷期因拉張應力場方向調整為近似東→西向，斷裂系統也形成了近南→北向。這種情況下，三肇凹陷扶余油層就呈現出近南北向斷層多的特點，最多為北北東－北東向斷層，發育近東西向斷層，斷層斷距處于較小的水平，斷層走向延伸長度也處于較小的水平，但T2斷層系斷層斷穿青一段、近北東向與近南北向斷層密度則處于較大的水平。對比盆地北部層序地層可知，斷穿T2反射層并斷至T1-1反射層的Ⅱ-Ⅲ斷層、僅斷穿T2反射層的Ⅱ-Ⅲ類斷層是影響盆地北部三肇凹陷中央、邊緣地區扶余油層油藏主要類型。因T2反射層上部、下部分別為青山口組一段生油巖、泉三段+泉四段致密砂巖儲層，因此，控制盆地北部三肇凹陷扶余油層成藏的關鍵斷層為T2反射層。

2基于測井相與平面相、巖芯相的扶余油層沉積特征

當“三農”問題構成制約中國社會發展和實現現代化進程的突出問題時，對它的關注和尋求解決之道的現實需求，也敦促學術界對其進行學理或學術層面的分析。誠如已故歷史學家張蔭麟說：“我們的歷史興趣之一是要了解現狀，是要追溯現狀的由來，眾史事和現狀之‘發生學的關系’（GeneticRelation）有深淺之不同，至少就

我們所知是如此。按照這個標準，史事和‘現狀’之‘發生學的關系’愈深愈重要，故今通史家每以詳盡略遠為旨。”因此，由現代回觀歷史，從歷史審視現代，就成為現代史學一個不容回避的研究課題。“三農”問題即是如此。

首先，“三農”問題雖是一個現實問題，但從根本上說則是一個歷史問題。根據現代化經典理論，現代化意味著工業化和城市化，意味著城市和鄉村的中心—邊緣、支配—被支配的關系。在現代化進程中，傳統的鄉村將面臨嚴峻的挑戰：是生存還是毀滅，是衰敗還是復興，是遺棄還是重建……任何走向現代化的國家都必然面臨并必須解決這一“哈姆雷特”式的難題。中國農村、農業和農民問題正是在現代化背景下提出來的一個問題。在古代，社會是鄉土社會，農業是主要產業，民眾主要是農民，以農耕文明為特質的均質性社會按照自身的邏輯演繹和發展。因此，農村、農業和農民并沒有成為古代社會的重要問題。只是隨著以工業文明為載體的工業、城市和工人等現代文明因素的出現，與傳統農業文明密切相關的農村、農業和農民問題才成為人類社會的重要問題。

雖然中國遲緩的現代化進程遠不及西方那樣對傳統的鄉村社會形成強勁的沖擊，并徹底改變傳統鄉村結構，但在清末民初的社會劇變中，鄉村社會所受到的沖擊和沉積的矛盾已經是前所未有的了。故有人指出，民國以來的中國社會進程實際上是中國農村經濟崩潰的過程，是中國廣大農民貧窮化的過程。舊時代的矛盾依然存在，新的社會矛盾又闖了進來，再加上外國侵略和天災人禍諸種因素，農村問題遂成為引人注目的大問題。到20世紀30年代，‘農村危機’、‘救濟農村’成為非常強烈的呼聲；‘復興農村’、‘鄉村建設’、‘農村改進’、‘改革土地制度’成為一股強勁的浪潮。那時在幾乎所有政黨政派的政治綱領中，都有關于農村土地問題的主張。

其次，勿庸置疑，困擾當代社會發展的“三農”問題，有著自近代以來自身形成、發展和演變的線索，當然也是近代歷史進程中人們曾想努力解決的問題。當時，人們已經認識到，雖然近代農民生存條件和生存狀態與傳統社會并無質的差別，但近代以來的農民生存更多地呈現出社會變遷中的具有時代性的特征。因為“我國古時重士農，輕工商，所以農民的地位非常高尚。”但到了近代以后，“工商業一天一天的發達，工商的地位逐漸提高……農民的生活一天一天的變壞，他們的地位一天一天的降低……”這一歷史記錄表明，近代中國農村問題的出現和累積之所以不同于傳統時代，就在于它不僅受到社會政治變動所引發的權力結構動蕩的影響，也不僅受到農村階級結構內在規律引發的土地集中和貧富分化的周期性震蕩，而且更在于工業化和城市化進程對于鄉村社會生存和發展形成的巨大壓力和分解力。因此，立足于工業化和城市化進程探討中國鄉村社會變遷，就成為20世紀30年代《東方雜志》討論的主題之一。同樣，已經被拖入世界經濟市場的中國鄉村，還不可避免地承受著世界經濟的沖擊。因此，當時鄉村社會研究的國際視角也十分鮮明，如馬寅初《世界經濟恐慌如何影響及于中國與中國之對策》就是典型一例。而且當時對于中國農民貧窮問題的考察也是從世界史的對比角度入手的，如李樹青的《中國家的貧窮程度》即是通過與美國、丹麥農民生活狀況的比較而立論的。尋求“三農”問題答案的探索，是近現代以來歷史發展進程的重要內容之一。

再則，近代中國農村社會變遷是伴隨著工業化、城市化乃至現代化的歷史進程而出現的中國社會發展的主題之一。由于近代中國社會變遷既承負著現代化進程也承負著半殖民地化進程的雙重困厄，因而鄉村社會變遷更多地表現為危機的加劇、交錯和尋求解脫危機的步履維艱。在20世紀上半葉急切探求中國鄉村社會發展出路同時也是探求中國現代化出路的討論中，學術界、政界、思想界、文化界、輿論界等各以自己的認識和思考提出了獨特的見解。所謂重農主義派、重工主義派、工農并重派、農村復興派、都市建設派、資本主義派、社會主義派、民生主義派、放任主義派、統制經濟派、合作運動派、交通建設派、生產建設派等等都試圖在自己的學理論證框架中提出改造和建構中國社會發展的模式。任何模式都有其學理層面的價值，也有其現實試驗的意義。當然，任何模式也都是有限的，歷史的發展和演進最終都超越了模式本身。不過，歷史所積累的認識價值卻是永恒的。回觀歷史，并將當代三農問題置于近代歷史進程加以審視，才能夠厘清其形成、演變的趨向，也才可以認清其時代特征。這是時代對史學的要求，也是歷史學回應并作用于時代的基本功能。

1海底熱流探測的理論基礎

海底熱流探測,記錄的是來自地球內部的熱能。當兩種不同溫度介質接觸時,分子的動能會在兩種介質之間傳遞,直至達到熱平衡。熱流表示由溫差引起的能量傳遞。沉積物熱流以熱傳導為主,在一維穩態純傳導的條件下,地熱流q可以用下式描述[1]:

海底地溫梯度是一個向量,表示地球等溫面法線方向上溫度變化程度及變化方向,因此只要知道深度間距dZ和它們之間的溫差dT即可。

熱導率κ是一個表征沉積物導熱能力快慢的物理量,沉積物的組成類別及水含量不同熱導率κ也不同。熱導率測量的理論基礎是從瞬間熱脈沖由無限長圓拄形金屬探針進入無限大介質的傳導理論上發展起來的(Blackwell等,1954;Hyndman等,1979),該理論認為[2,3]當探針溫度、沉積物溫度與環境溫度達到平衡時,熱脈沖使探針溫度升高,高于環境溫度,在熱脈沖過后的一定時間內,地熱探針內的熱敏電阻的溫度T(t)由下式給出:

2海底熱流原位探測技術

2.1海底溫度梯度原位測量

一、延邊地區二疊系構造地層學研究

延邊造山帶是興凱地塊與龍崗一狼林地塊之間的碰撞造山帶。二疊系是主要沉積地層。長期以來，因沿用正常地層方法而未能正確建立地層層序。自張允平等認為“山秀嶺組”可能是外來巖塊（1994），邵濟安、唐克東等識別了6種活動大陸邊緣沉積（1995），已開始認識到延邊地區二疊系必須用構造地層學方法才可能正確建立地層層序。

延邊造山帶主要限定于古洞河及汪清一密江斷裂之間，其中的二疊系被花崗巖侵入后成殘留塊狀分布于開山屯區、汪清一圖門區和安圖等地，大多數建組剖面在開山屯區，僅廟嶺組建組于汪清。汪清一密江斷裂以東的密江一琿春區是興凱地塊邊緣區，因此和造山帶區是二個獨立的構造地層小區。恢復當時構造沉積環境，造山帶二疊系是弧前盆地沉積，興凱地塊邊緣區是山弧帶和弧后盆地沉積。

1、開山屯區

開山屯區己識別出12個以上的鱗片狀沖斷巖片，巖片間為出露很寬的糜棱巖帶，各組間大多以此相隔或成不正合接觸。全區，特別是南部廣泛發育有基性、超基性、硅質巖和灰巖等外來巖塊，包含于黑色粉砂巖中。地層成擠壓帶狀和透鏡狀。北部構造線方向為SWW一NEE,南部近SN，形成自北向南和自西向東的推覆。

1．大拉子盆地不正合邊界；2．花崗巖；3．糜棱巖斷層帶；4．地層界線;5．基性、超基性巖塊；

1大芯徑多模石英光纖的生產工藝

大芯徑多模石英光纖是對圓柱形光纖預制棒進行高溫加熱軟化熔縮、套管、拉制、涂覆、套塑、測試和包裝一系列流程制成的。光纖預制棒的制備是獲得高性能光纖的關鍵所在，在目前國內外相關光纖預制棒生產商（包括長飛，法爾勝，朗訊阿爾卡特和日本NTT公司）采用的生產工藝中,常見的大芯徑多模石英光纖預制棒制備工藝有改進化學氣相沉積（MCVD）、等離子體化學氣相沉積（PCVD）和軸向化學沉積（VAD）。下面分別介紹這3種制備方法。

1.1MCVD采用MCVD

制備光纖預制棒的過程中，將設備處于封閉的超純態下，常用原料為SiCl4、CF2Cl2、SF6和C2F4，運載氣體通常為O2或Ar，反應設備如圖1所示。運載氣體通入反應原料蒸發瓶后，攜帶沉積反應原料進入襯底管中，在加熱條件下進行沉積反應，在襯底管內形成一定厚度、成分為SiO2-SiF4的包層。包層沉積完成后先沉積纖芯，待纖芯沉積完成后再進行熔融和縮棒工藝，至此完成預制棒的制造過程。在制備階躍型多模光纖的預制棒制造工藝中，運載氣體流量為恒定值；在制備漸變型多模光纖的預制棒制造工藝中，要根據光纖折射率分布來控制運載氣體的流量。另外，為保證光纖沉積的均勻性，在沉積反應過程中要以一定速度旋轉襯底管。MCVD制備光纖預制棒的優勢是設備投資較低、操作運行較容易、工藝控制性好、易于實現復雜折射率光纖預制棒的制備。缺點在于MCVD方法屬于間歇性沉積工藝，存在材料均勻性較差、難以確保剖面的精確度、沉積速率較慢和原料利用率較低的問題。

1.2PCVD

PCVD方法為管內法的化學氣相沉積工藝，即在低壓下，采用微波腔體加熱，使諧振腔內的兩極板間電壓增高，促使管內反應氣體的殘余正離子在電場中加速，使其部分電離、活化，生成一種非等溫等離子氣體。這些非等溫等離子氣體重新組合釋放熱能，釋放出的能量能促進原料氣體發生反應，反應生成的粒子擴散到襯底管內壁上形成沉積，反應機理與MCVD類似。PCVD通常用來制備光纖預制棒的芯棒部分，與套管工藝配合制成光纖預制棒。PCVD制備光纖預制棒的優勢是生產設備投資較低、可操控性強、屬于低溫氧化、易于實現復雜折射率光纖預制棒的制備、可以獲得折射率分布接近理想狀態的光纖預制棒。缺點在于沉積速率低、要求原料純度高、屬于間歇性沉積工藝。

摘要：運用當前新興學科—構造地層學的原理和方法，可以重新認識延邊地區的二疊系基本上是沉積混雜巖和濁積巖，構成了成層有序和成層無序地層，局部有構造混雜巖組成的無層無序地層；開山屯區是疊瓦狀沖斷巖片和糜棱巖帶發育的典型地區。恢復后的地層序列自下而上是：1、采樹溝組—雜、灰色硅泥質板巖；2、大蒜溝組—黑、灰色沉積混雜巖；3、香仁坪組-雜色濁積巖和泥質巖；4、開山屯組—造山前磨拉石；5、柯島組—黑色濁積巖。構成了古太平洋活動大陸邊緣典型地區之一，對于深入認識古太平洋演化有重要意義。

關鍵詞：構造地層學二疊系延邊吉林

構造地層學在國內外的研究方興末艾，是當前地學前沿之一。國際上，構造地層學主要研究構造地層單元(unit)和序列(Seqence)及其大地構造意義。Tectonostratigraphy作為專門術語，首見于1978年印度東北那加(Naga)山系蛇綠巖帶的研究中(Srivastavaetal.,1978)。但實際研究始于60年代，包括許靖華教授的一系列研究。70年代晚期至80年代晚期，隨著地體研究而加強，但非地體的研究也是大量的。其研究區域遍及世界各主要造山帶，同時也包括變質巖區、裂谷、盆地以及對某個蛇綠巖帶、雜巖、地層組等的專門研究。86年至今，有關文獻己超過百篇，相關的研究文獻更多。研究的內容是多方面的，例如劃分構造地層單元，研究單元內部巖石、巖組、結構及單元間的構造關系，分析構造的變形、變位(Steltenpohl,1987;Slivaetal.,1994);結合大地構造總結構造一地層事件演化(Surlyk,1991)，論述放射蟲古生物學在構造地層學中的意義(Bogdanovetal.,1991)，探討構造地層學與全球海平面變化(Harrisetal.,1994)，構造地層學與金成礦作用（Bardouxetal.,1994），大陸邊緣裂谷與地殼減薄作用的構造地層學模式(Spadinietal.,1995)，以及造山帶、海溝、地體某個專門單元的構造地層學研究等等。大致可以分為以地層學、巖石學與構造地質學相結合研究構造巖石地層單元和序列的“狹義”構造地層學和與大地構造相結合，輔以古生物、沉積、同位素年代、古地磁等多學科，研究大的地層序列、構造及構造一地層事件演化史的“廣義”構造地層學。其中，對造山帶的研究頗類似于近年來國內興起的非史密斯地層學、造山帶綜合地層學、造山帶區域地層學等(殷鴻福等，1997;張克信等，1997;龔一鳴等，1996;馮慶來，1993，1997，1999；王乃文等，1994，1995；郭憲璞等，1996；羅建寧，1994；杜遠生，1995，1997；劉本培等，1996；姚華舟等，1994；方宗杰，1998；吳根耀，1998等)。

總體上，國內外對構造地層學的研究，仍處于初步總結的階段，還不成熟，與國際上相比，目前國內研究范圍主要是造山帶、變質巖區，且重點在層序重建和原始沉積環境的依復，大多數研究基本上屬地層學的范疇。然而，無可否認，在研究構造活動區帶及受構造運動影響的地層中，沿用正常地層的方法已不完全適用，必須輔以或主要采用構造地層學的方法，才能正確恢復和建立地層層序，同時構造地層學己日益成為造山帶和構造活動區帶研究的基礎之一，因此，發展和完善構造地層學是一項重要的任務。

*本文為地質行業科學發展基金資助項目（HY979824）成果之一

一、延邊地區二疊系構造地層學研究

摘要:介紹了集成電路銅互連雙嵌入式工藝和電鍍銅的原理;有機添加劑在電鍍銅中的重要作用及對添加劑含量的監測技術;脈沖電鍍和化學電鍍在銅互連技術中的應用;以及銅互連電鍍工藝的發展動態。

關鍵詞:集成電路,銅互連,電鍍,阻擋層

1.雙嵌入式銅互連工藝

隨著芯片集成度的不斷提高,銅已經取代鋁成為超大規模集成電路制造中的主流互連技術。作為鋁的替代物,銅導線可以降低互連阻抗,降低功耗和成本,提高芯片的集成度、器件密度和時鐘頻率。

由于對銅的刻蝕非常困難,因此銅互連采用雙嵌入式工藝,又稱雙大馬士革工藝(DualDamascene),如圖1所示,1)首先沉積一層薄的氮化硅(Si3N4)作為擴散阻擋層和刻蝕終止層,2)接著在上面沉積一定厚度的氧化硅(SiO2),3)然后光刻出微通孔(Via),4)對通孔進行部分刻蝕,5)之后再光刻出溝槽(Trench),6)繼續刻蝕出完整的通孔和溝槽,7)接著是濺射(PVD)擴散阻擋層(TaN/Ta)和銅種籽層(SeedLayer)。Ta的作用是增強與Cu的黏附性,種籽層是作為電鍍時的導電層,8)之后就是銅互連線的電鍍工藝,9)最后是退火和化學機械拋光(CMP),對銅鍍層進行平坦化處理和清洗。

圖1銅互連雙嵌入式工藝示意圖